電子半導(dǎo)體作為我國(guó)迅速發(fā)展的生產(chǎn)行業(yè)，半導(dǎo)體工業(yè)主要應(yīng)用于電子機(jī)械制造業(yè)，當(dāng)前半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)廢水主要有三種類型，即含氟廢水、含銅廢水和含氨廢水，由于其水質(zhì)復(fù)雜，污染物含量高，對(duì)環(huán)境造成的影響較大，加強(qiáng)半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)廢水處理是企業(yè)急需解決的環(huán)保難題。今天小編主要介紹電子半導(dǎo)體廢水的種類和來源。

1、電子半導(dǎo)體廢水的種類

由于半導(dǎo)體公司的產(chǎn)品不同，各公司生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水種類都不一樣，各公司對(duì)產(chǎn)生的廢水來源不一樣所進(jìn)行的分類也不一樣?？偟膩硭?，半導(dǎo)體行業(yè)的廢水可以分為含氟廢水、含磷廢水、有機(jī)廢水、研磨廢水、氨氮廢水和酸堿廢水。

2、電子半導(dǎo)體廢水的來源

含氟廢水主要來源于來自于自芯片制造過程中的擴(kuò)散工序及化學(xué)機(jī)械研磨工序，在對(duì)硅片及相關(guān)器皿的清洗過程中也多次用到氫氟酸。對(duì)粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強(qiáng)的破壞作用。污染物主要為氟離子。含磷廢水主要來源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。有機(jī)廢水，由于生產(chǎn)工藝的不同，有機(jī)溶劑的使用量對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)而言具有很大的差距。但是作為清洗劑，有機(jī)溶劑仍然普遍使用在制造封裝的各個(gè)環(huán)節(jié)上。部分溶劑則成為有機(jī)廢水排放，有機(jī)廢水主要來源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機(jī)廢水。

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